🏷️ 标签: 残余应力

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• 陶瓷薄膜在MEMS传感器中的残余应力控制：从机理到优化策略
  📅 2026-04-23
  本文深入探讨了氧化铝陶瓷等陶瓷材料在MEMS传感器薄膜制备过程中残余应力的形成机理、影响及控制方法。通过分析沉积工艺参数、热失配与晶格畸变等关键因素，提出了包括工艺优化、后处理及结构设计在内的综合控制策略，旨在为高性能、高可靠性MEMS传感器开发提供理论指导与实践参考。